Умный поиск 


3_2013_s_8

Название статьи КОМБИНИРОВАННЫЙ ПРИВОД ЛИНЕЙНОЙ КООРДИНАТНОЙ СИСТЕМЫ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ С УПРАВЛЯЕМЫМ ТЯГОВЫМ УСИЛИЕМ
Авторы

Басинюк В.Л., доктор технических наук, доцент, директор НТЦ «Технологий машиностроения и технологического оборудования» Объединенного института машиностроения НАН Беларуси, г. Минск, Республика Беларусь, Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.">Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.

Мардосевич Е.И., кандидат технических наук, заведующая сектором перспективных приводов и триботехнических систем НТЦ «Технологий машиностроения и технологического оборудования» Объединенного института машиностроения НАН Беларуси, г. Минск, Республика Беларусь

Папина С.С., заведующий отделением УП «Конструкторское бюро точного электронного машиностроения — сборочное оборудование» государственного научно-производственного объединения «Планар», г. Минск, Республика Беларусь

Ломако В.Г., заведующий сектором УП «Конструкторское бюро точного электронного машиностроения — сборочное оборудование» государственного научно$производственного объединения «Планар», г. Минск, Республика Беларусь
В рубрике ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ МЕХАНИКА
Год 2013 номер журнала 3 Страницы 50-56
Тип статьи Научная статья Индекс УДК 621.757;8;9 Индекс ББК  
Аннотация Рассмотрены вопросы конструирования линейных приводов с традиционными зубчато-ременными передачами для координатных систем технологического оборудования, используемого при резке алмазным кругом полупроводниковых пластин. Показаны возможности существенного улучшения их динамических качеств путем создания комбинированного привода, в котором дополнительно к основному электродвигателю в конструкцию введен еще один относительно маломощный программно-управляемый линейный электродвигатель. Его якорь связан непосредственно с подвижным столом. С помощью линейного электродвигателя создается дополнительное программно-управляемое тяговое усилие при его разгоне или торможении стола, что позволяет исключить возникновение собственных колебаний при достижении им рабочей скорости подачи или его остановке.
Ключевые слова колебания, резание полупроводниковых пластин, программно-управляемый привод, управляемое тяговое усилие
  Полный текст статьи Вам доступен
Список цитируемой литературы
  • Оборудование для резки полупроводниковых пластин алмазными режущими дисками. — Режим доступа: www.planar.by/ru/about/kbtem-so/.
  • Автоматизированный электропривод / под общ. ред. Н.Ф. Ильинского, М.Г. Юнькова. — М.: Энергоатомиздат, 1990. — 542 с.
  • Башарин, А.В. Динамика нелинейных автоматических систем управления / А.В. Башарин, И.А. Башарин. — Л.: Энергия, 1974. — 199 с.
  • Борцов, Ю.А. Электромеханические системы с адаптивным и модальным управлением / Ю.А. Борцов, Н.Д. Поляхов, В.В. Путов. — Л.: Энергоатомиздат, 1984. — 216 с.
  • Борцов, Ю.А. Автоматизированный электропривод с упругими связями / Ю.А. Борцов, Г.Г. Соколовский. — С-Пб.: Энергоатомиздат, 1992. — 287 с.
  • Прецизионные координатные системы на основе электропривода прямого действия / С.Е. Карпович [и др.]. — Минск: ГНПО «Планар», 2001. — 198 с.
  • Сервоматоры. Разработка и производство сервоприводов, бесколлекторных и вентильных двигателей. — Режим доступа: pravo.levonevsky.org/bazaby/org508/.../text0001.htm.
  • Привод перемещения координатного устройства и способ его управления / В.Л. Басинюк, Е.И. Мардосевич, С.С. Папина, В.Г. Ломако. — Заявка на изобретение ЕФ 030/13; № 20130065; 03.05.13.