| Название статьи | МЕТОДИКА ВЫБОРА РЕЖИМОВ ФУНКЦИОНИРОВАНИЯ ПРИВОДА КАРЕТКИ ЗОНДОВОГО ОБОРУДОВАНИЯ ПРИ ПЕРЕХОДНЫХ ПРОЦЕССАХ, ОБЕСПЕЧИВАЮЩИХ МИНИМИЗАЦИЮ ДЛИТЕЛЬНОСТИ ЦИКЛА ЗОНДИРОВАНИЯ. ЧАСТЬ 1. МЕТОДИКА ИССЛЕДОВАНИЙ МЕХАНИЧЕСКИХ КОЛЕБАНИЙ ПРИВОДА ПРЕДМЕТНОГО СТОЛИКА |
| Авторы |
А.В. КОЗИНЕЦ, инженер, ОАО «Планар», г. Минск, Республика Беларусь, Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.">Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра. В.Л. БАСИНЮК, д-р техн. наук, проф., начальник НТЦ «Технологии машиностроения и технологическое оборудование» — заведующий лабораторией приводных систем и технологического оборудования, Объединенный институт машиностроения НАН Беларуси, г. Минск, Республика Беларусь, Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.">Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра. Р.Е. ВОЛКОТРУБ, научный сотрудник, Объединенный институт машиностроения НАН Беларуси, г. Минск, Республика Беларусь, Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.">Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра. |
| В рубрике | МАШИНОСТРОИТЕЛЬНЫЕ КОМПОНЕНТЫ |
| Год | 2022 |
| Номер журнала | 4(61) |
| Страницы | 38–45 |
| Тип статьи | Научная статья |
| Индекс УДК | 621.81 |
| Идентификатор DOI | https://doi.org/10.46864/1995-0470-2022-4-61-38-45 |
| Аннотация | Приведены результаты анализа предварительных исследований механических колебаний с собственной частотой предметного столика зондового оборудования, позволившие установить, что длительность их затухания, до завершения которых не может быть осуществлен контроль годности кристаллов, существенно зависит от режима динамики движения в процессе разгона и торможения, при этом их длительность составляет до ~87 % времени цикла зондирования и при определенных режимах функционирования привода оно имеет минимум, позволяющий без использования систем активного гашения колебаний на 25–36 % уменьшить длительность процесса затухания колебаний с соответствующим повышением производительности процесса зондирования. Показано, что диапазон варьирования шага перемещения предметного столика с позиций его влияния на время затухания механических колебаний условно может быть разбит на два участка: перемещение с шагом менее 2–3,5 мм, наиболее перспективное с позиций стабильно существующей тенденции минимизации размеров кристаллов, при котором время затухания колебаний существенно и нелинейно зависит от величины этого шага, и перемещение с шагом более 2–3,5 мм, для которого время затухания колебаний практически не зависит от шага перемещения. Предложен алгоритм дальнейших исследований, позволяющий после их проведения разработать методику выбора рациональных режимов функционирования привода каретки зондового оборудования при переходных процессах, обеспечивающих минимизацию длительности цикла зондирования. |
| Ключевые слова | зондовое оборудование, методика, микроэлектроника, переходные процессы, производительность |
 |
Полный текст статьи Вам доступен |
| Список цитируемой литературы |
|
