1_2023_s_7

Название статьи МЕТОДИКА ВЫБОРА РЕЖИМОВ ФУНКЦИОНИРОВАНИЯ ПРИВОДА КАРЕТКИ ЗОНДОВОГО ОБОРУДОВАНИЯ ПРИ ПЕРЕХОДНЫХ ПРОЦЕССАХ. ЧАСТЬ 2
Авторы

А.В. КОЗИНЕЦ, инженер, ОАО «Планар», г. Минск, Республика Беларусь, Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.">Alex-2570@kbtem.by

В.Л. БАСИНЮК, д-р техн. наук, проф., начальник НТЦ «Технологии машиностроения и технологическое оборудование» – заведующий лабораторией «Приводные системы и технологическое оборудование», Объединенный институт машиностроения НАН Беларуси, г. Минск, Республика Беларусь, Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.">vladbas@mail.ru

Р.Е. ВОЛКОТРУБ, научный сотрудник лаборатории приводных систем и технологического оборудования НТЦ «Технологии машиностроения и технологическое оборудование», Объединенный институт машиностроения НАН Беларуси, г. Минск, Республика Беларусь, Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.">aug1961r@mail.ru
В рубрике МАШИНОСТРОИТЕЛЬНЫЕ КОМПОНЕНТЫ
Год 2023
Номер журнала 1(62)
Страницы 47–54
Тип статьи Научная статья
Индекс УДК 621.81
Идентификатор DOI https://doi.org/10.46864/1995-0470-2023-1-62-47-54
Аннотация В статье приведены результаты исследований, анализ которых позволил установить особенности, влияющие на длительность основных периодов горизонтального перемещения приводом каретки с предметным столиком оборудования зондового контроля, к основным из которых можно отнести режим плавности (динамики) перемещения и связанные с ним ускорения при разгоне и торможении, обеспечиваемые настройкой контроллера управления электродвигателем, а также шаг перемещения. Показано, что для конкретизированных инерционно-жесткостных и демпфирующих характеристик оборудования зондового контроля определение ускорений для каждого режима плавности и длительности затухания механических колебаний после перемещений каретки с предметным столиком в заданную координату может быть осуществлено в режиме отладки оборудования зондового контроля или автоматизированно с использованием адаптивного управления. Предложена методика выбора рациональных режимов функционирования привода каретки с предметным столиком зондового оборудования при переходных процессах с использованием базы данных и шага перемещения (размера кристаллов), позволяющая для каждого режима плавности определить циклограмму его перемещения и суммарную длительность всего цикла, из которых выбирается и реализуется минимальный.
Ключевые слова зондовое оборудование, методика, микроэлектроника, переходные процессы, производительность
  Полный текст статьи Вам доступен
Список цитируемой литературы
  1. Карпович, С.Е. Прецизионные системы перемещений для оборудования производства изделий электронной техники / С.Е. Карпович, В.В. Жарский, И.В. Дайняк // Докл. БГУИР. — 2014. — № 2(80). — С. 60–72.
  2. Лосев, В.В. Развитие методов зондовой микроскопии для исследования и контроля поверхностей материалов и изделий микроэлектроники: дис. … канд. техн. наук: 05.11.13 / В.В. Лосев. — М., 2002. — 174 с.
  3. Смирнов, К.К. Автоматизация операций прослеживаемости качества интегральных структур при производстве сверхбольших интегральных схем [Электронный ресурс] / К.К. Смирнов // Тр. МАИ. — 2015. — № 95. — Режим доступа: http://trudymai.ru/upload/iblock/bda/Smirnov_rus.pdf. — Дата доступа: 17.05.2018.
  4. Hudec, J. Methodology of functional test synthesis and verification for VLSI Systems / J. Hudec // ITI 2000. Proc. of the 22nd International Conference on Information Technology Interfaces. — 2000. — Pp. 61–66.
  5. Минченко, В.А. Принципы построения и структурные схемы зондовых автоматических систем контроля параметров изделий микро- и наноэлектроники на пластине / В.А. Минченко, Г.Ф. Ковальчук, С.Б. Школык // Приборы и методы измерений. — 2012. — № 2. — С. 67–75.
  6. Дайняк, И.В. Интегрированная система многокоординатных перемещений для сборочного оборудования микроэлектроники // И.В. Дайняк, Д.Г. Бегун, В.В. Поляковский / Вестн. Полоцкого гос. ун-та. Сер. В: Промышленность. Прикладные науки. — 2014. — № 11. — С. 59–64.
  7. Лосев, В.В. Развитие методов зондовой микроскопии для исследования и контроля поверхностей материалов и изделий микроэлектроники: автореф. дис. … канд. техн. наук: 05.11.13 / В.В. Лосев. — М., 2002. — 28 с.
  8. Жарский, В.В. Системы многокоординатных перемещений и исполнительные механизмы для прецизионного технологического оборудования / В.В. Жарский, С.Е. Карпович, И.В. Дайняк. — Минск, 2013. — 208 с.
  9. Михайлов, М.А. Система прецизионного механического перемещения для повышения пространственного разрешения и точности измерений линейных размеров в сканирующем зондовом микроскопе: дис. ... канд. техн. наук: 05.11.01 / М.М. Алексеевич. — СПб., 2015. — 127 с.
  10. Ващенко, П.А. Моделирование ℓ-координатных виброзащитных устройств оборудования электронной техники: дис. ... канд. техн. наук: 05.13.18, 05.13.12 / П.А. Ващенко. — Воронеж, 2009. — 213 с.
  11. Козинец, А.В. Методика выбора режимов функционирования привода каретки зондового оборудования при переходных процессах, обеспечивающих минимизацию длительности цикла зондирования. Часть 1. Методика исследований механических колебаний привода предметного столика / А.В. Козинец, В.Л. Басинюк, Р.Е. Волкотруб // Механика машин, механизмов и материалов. — 2022. — № 4(61). — С. 38–45.
  12. Ковенский, А.В. Мониторинг в эксплуатации параметров колебаний компонентов ответственных узлов мехатронных систем / А.В. Ковенский, А.В. Козинец, Е.А. Морожанов // Актуальные вопросы машиноведения: сб. науч. тр. / Объединенный институт машиностроения НАН Беларуси; редкол.: С.Н. Поддубко [и др.]. — 2022. — Вып. 11. — С. 61–65.