| Название статьи | КОМБИНИРОВАННЫЙ ПРИВОД ЛИНЕЙНОЙ КООРДИНАТНОЙ СИСТЕМЫ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ С УПРАВЛЯЕМЫМ ТЯГОВЫМ УСИЛИЕМ | ||||
| Авторы |
Басинюк В.Л., доктор технических наук, доцент, директор НТЦ «Технологий машиностроения и технологического оборудования» Объединенного института машиностроения НАН Беларуси, г. Минск, Республика Беларусь, Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.">Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра. Мардосевич Е.И., кандидат технических наук, заведующая сектором перспективных приводов и триботехнических систем НТЦ «Технологий машиностроения и технологического оборудования» Объединенного института машиностроения НАН Беларуси, г. Минск, Республика Беларусь Папина С.С., заведующий отделением УП «Конструкторское бюро точного электронного машиностроения — сборочное оборудование» государственного научно-производственного объединения «Планар», г. Минск, Республика Беларусь Ломако В.Г., заведующий сектором УП «Конструкторское бюро точного электронного машиностроения — сборочное оборудование» государственного научно$производственного объединения «Планар», г. Минск, Республика Беларусь |
||||
| В рубрике | ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ МЕХАНИКА | ||||
| Год | 2013 | номер журнала | 3 | Страницы | 50-56 |
| Тип статьи | Научная статья | Индекс УДК | 621.757;8;9 | Индекс ББК | |
| Аннотация | Рассмотрены вопросы конструирования линейных приводов с традиционными зубчато-ременными передачами для координатных систем технологического оборудования, используемого при резке алмазным кругом полупроводниковых пластин. Показаны возможности существенного улучшения их динамических качеств путем создания комбинированного привода, в котором дополнительно к основному электродвигателю в конструкцию введен еще один относительно маломощный программно-управляемый линейный электродвигатель. Его якорь связан непосредственно с подвижным столом. С помощью линейного электродвигателя создается дополнительное программно-управляемое тяговое усилие при его разгоне или торможении стола, что позволяет исключить возникновение собственных колебаний при достижении им рабочей скорости подачи или его остановке. | ||||
| Ключевые слова | колебания, резание полупроводниковых пластин, программно-управляемый привод, управляемое тяговое усилие | ||||
 |
Полный текст статьи Вам доступен | ||||
| Список цитируемой литературы |
|
||||
