Умный поиск 


4_2022_s_4

Название статьи МЕТОДИКА ВЫБОРА РЕЖИМОВ ФУНКЦИОНИРОВАНИЯ ПРИВОДА КАРЕТКИ ЗОНДОВОГО ОБОРУДОВАНИЯ ПРИ ПЕРЕХОДНЫХ ПРОЦЕССАХ, ОБЕСПЕЧИВАЮЩИХ МИНИМИЗАЦИЮ ДЛИТЕЛЬНОСТИ ЦИКЛА ЗОНДИРОВАНИЯ. ЧАСТЬ 1. МЕТОДИКА ИССЛЕДОВАНИЙ МЕХАНИЧЕСКИХ КОЛЕБАНИЙ ПРИВОДА ПРЕДМЕТНОГО СТОЛИКА
Авторы

А.В. КОЗИНЕЦ, инженер, ОАО «Планар», г. Минск, Республика Беларусь, Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.">Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.

В.Л. БАСИНЮК, д-р техн. наук, проф., начальник НТЦ «Технологии машиностроения и технологическое оборудование» — заведующий лабораторией приводных систем и технологического оборудования, Объединенный институт машиностроения НАН Беларуси, г. Минск, Республика Беларусь, Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.">Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.

Р.Е. ВОЛКОТРУБ, научный сотрудник, Объединенный институт машиностроения НАН Беларуси, г. Минск, Республика Беларусь, Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.">Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
В рубрике МАШИНОСТРОИТЕЛЬНЫЕ КОМПОНЕНТЫ
Год 2022
Номер журнала 4(61)
Страницы 38–45
Тип статьи Научная статья
Индекс УДК 621.81
Идентификатор DOI https://doi.org/10.46864/1995-0470-2022-4-61-38-45
Аннотация Приведены результаты анализа предварительных исследований механических колебаний с собственной частотой предметного столика зондового оборудования, позволившие установить, что длительность их затухания, до завершения которых не может быть осуществлен контроль годности кристаллов, существенно зависит от режима динамики движения в процессе разгона и торможения, при этом их длительность составляет до ~87 % времени цикла зондирования и при определенных режимах функционирования привода оно имеет минимум, позволяющий без использования систем активного гашения колебаний на 25–36 % уменьшить длительность процесса затухания колебаний с соответствующим повышением производительности процесса зондирования. Показано, что диапазон варьирования шага перемещения предметного столика с позиций его влияния на время затухания механических колебаний условно может быть разбит на два участка: перемещение с шагом менее 2–3,5 мм, наиболее перспективное с позиций стабильно существующей тенденции минимизации размеров кристаллов, при котором время затухания колебаний существенно и нелинейно зависит от величины этого шага, и перемещение с шагом более 2–3,5 мм, для которого время затухания колебаний практически не зависит от шага перемещения. Предложен алгоритм дальнейших исследований, позволяющий после их проведения разработать методику выбора рациональных режимов функционирования привода каретки зондового оборудования при переходных процессах, обеспечивающих минимизацию длительности цикла зондирования.
Ключевые слова зондовое оборудование, методика, микроэлектроника, переходные процессы, производительность
  Полный текст статьи Вам доступен
Список цитируемой литературы
  1. Карпович, С.Е. Прецизионные системы перемещений для оборудования производства изделий электронной техники / С.Е. Карпович, В.В. Жарский, И.В. Дайняк // Докл. БГУИР. — 2014. — № 2(80). — С. 60–72.
  2. Лосев, В.В. Развитие методов зондовой микроскопии для исследования и контроля поверхностей материалов и изделий микроэлектроники: дис. … канд. техн. наук: 05.11.13 / В.В. Лосев. — М., 2002. — 175 л.
  3. Смирнов, К.К. Автоматизация операций прослеживаемости качества интегральных структур при производстве сверхбольших интегральных схем [Электронный ресурс] / К.К. Смирнов // Тр. МАИ. — 2015. — № 95. — Режим доступа: http://trudymai.ru/upload/iblock/bda/Smirnov_rus.pdf. — Дата доступа: 17.05.2018.
  4. Hudec, J. Methodology of functional test synthesis and verification for VLSI Systems / J. Hudec // ITI 2000. Proc. of the 22nd International Conference on Information Technology Interfaces. — 2000. — Pp. 61–66.
  5. Минченко, В.А. Принципы построения и структурные схемы зондовых автоматических систем контроля параметров изделий микро- и наноэлектроники на пластине / В.А. Минченко, Г.Ф. Ковальчук, С.Б. Школык // Приборы и методы измерений. — 2012. — № 2(5). — С. 67–75.
  6. Дайняк, И.В. Интегрированная система многокоординатных перемещений для сборочного оборудования микроэлектроники / И.В. Дайняк, Д.Г. Бегун, В.В. Поляковский // Вестн. Полоцкого гос. ун-та. Сер. В: Промышленность. Прикладные науки. — 2014. — № 11. — С. 59–64.
  7. Лосев, В.В. Развитие методов зондовой микроскопии для исследования и контроля поверхностей материалов и изделий микроэлектроники: автореф. дис. … канд. техн. наук: 05.11.13 / В.В. Лосев. — М., 2002. — 175 с.
  8. Системы многокоординатных перемещений и исполнительные механизмы для прецизионного технологического оборудования / В.В. Жарский [и др.]. — Минск, 2013. — 208 с.
  9. Михайлов, М.А. Система прецизионного механического перемещения для повышения пространственного разрешения и точности измерений линейных размеров в сканирующем зондовом микроскопе: дис. ... канд. техн. наук: 05.11.01 / М.А. Михайлов. — СПб., 2015. — 128 л.
  10. Ващенко, П.А. Моделирование i-координатных виброзащитных устройств оборудования электронной техники : дис. ... канд. техн. наук: 05.13.18, 05.13.12 / П.А. Ващенко. — Воронеж, 2009. — 16 л.